线性运动馈通 – Beam Imaging Solutions（BIS）离子源离子枪电子，离子和X射线束成像

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光束观测系统 BOS-18-IW 电子束观测系统离子束观测系统线性运动馈通

光束观察系统 BOS-75-IW 光束远程成像线性运动馈通