Beam Imaging Solutions 450离子束减速器 450-L减速器可与减速镜系统一起使用

Beam Imaging Solutions公司推出了新型450离子束减速器,用于产生高电流,低能量的离子束。该减速器旨在通过最大透镜元件将离子束散射降至最低来增加低能离子束电流,并且在减速之前还允许更高的初始离子束能量。


450-L型镜头系统

450型减速器
 可用在真空外壳中,带有两个可旋转的8“扁平法兰和两个2.75”扁平端口用于电气连接。外壳长6.750英寸(171.45毫米)。

上面的性能曲线是通过使用10mm直径的收集器从减速器的出口大约2.5cm处测量Ar +束流产生的。在高达5keV的初始Ar +离子能量下测量了性能,但减速器设计用于高达10keV的光束。为了进行这些测量,将减速器安装在带有RFIS-100的Beam Imaging Solutions G-2型离子枪系统出口的12英寸(30厘米)处。离子源。将靶/集电极浮动到离子束阻滞电位。通过测量初始离子能量(加速电势)和延迟电势之间的差来计算最终离子束能量。如果目标必须保持在接地电位,则离子枪电极可以浮动到负加速电位,最大浮动电位为-1kV。下面显示了具有1 keV的一次离子束的束性能曲线。

减速器可与减速镜系统一起使用(450-L型)

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