离子束偏转器 Columbia CIBD-100-H 离子偏转器 QID-900

CIBD-100型是一种静电,双聚焦90°离子束偏转器,由不同高度的同心圆柱板组成*。与标准的圆柱形偏转器相比,CIBD-100设计不仅允许将入射的平行光束聚焦在偏转平面上,还可以将其聚焦在正交方向上。我们的设计的光学特性类似于球形电容器偏转器的光学特性,但制造起来更容易且更具成本效益。与我们的QID-900型相比,使离子束偏转所需的电压降低了大约75%。换句话说,使用四极离子偏转器(如QID-900)将离子束偏转90度通常所需的电压等于正负离子电荷对单个电荷束的加速电位。使用CIBD-100型时,所需的电压大约为加速电位的正负1/4。偏转器也可以关闭,并且离子束可以通过其中一个弯曲的偏转板中的孔直接穿过组件。
标准型号CIBD-100安装在标准的8英寸锥形三通真空室(型号CIBD-100-H)中。

* H. Kreckel等,科学版。仪器 81、063304“ 2010”。
已取得专利:美国8,309,936 B2,2012年11月13日。

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